臭氧的氧化性極強，其氧化還原電位達2.07，對金屬有著很強的腐蝕作用。而實際應用中，科學家們使用臭氧為金屬鍍上一層氧化膜，這樣可以更好的保護金屬，保證其性能穩定。
值得注意的是：氣象和固相的氧化的效率比較低，過程緩慢，必須經過特定的工藝才能使氧化進程加快。
圖為現場銅Cu的氧化。

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